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仕様

 タイプ :空気圧浮上
 清浄度 :0.1μm-Class10以下
 必要流量 :0.2Mpa 5L/min
 浮上量 :0.5mm
 オプション :チャック機構(オリフラ合わせや縦詰めなど)




浮上原理