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MagicMoveとは

MagicMoveとは、圧力ケース上に配置した多孔質体に、圧縮流体を通して形成される流体膜により、対象物を浮上させるシステムです。


浮上の対象となるもの

FPDガラス基板(LCD/PDP/FED/ELなど)
シリコンウエハー


浮上原理





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