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搬送装置
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移載機
ウエハー・ 液晶基板などクリーン環境を必要とする搬送物をクリーン度を維持したまま、安全・確実に搬送する装置。

コンベヤ
ウエハー・ 液晶基板などクリーン環境を必要とする搬送物をクリーン度を維持したまま、安全・確実に搬送する装置。

2段バッファ
小スペースでのワークのストックが可能。