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垂直搬送装置
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クリフター
要求にマッチしたクリーン度が得られる高速・無騒音の垂直搬送機。

ループキャリー
クリーンルーム階層間を垂直循環搬送する設備。
高清浄度を維持した階層間多量搬送が可能。