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循環型リフターは、上下階にわたるクリーンルーム間を清浄度を維持したまま、安全・垂直に搬送する(ウェハーカセット等)装置です。


ループキャリーの特徴

階層間において複数のワーク受け台を循環させることで短時間で大量のワークを他階に 搬送させることが出来ます。

建屋形状、施工方法に合わせた製品の設計、組立て、工事を行い、使用用途に合わせた 製品能力を搭載することが可能です。


ループキャリーの安全対策

  • FOUP落下防止柵
  • チェーン伸び検知
  • チェーン落下防止ガイド
  • 柵とロボットの衝突防止
  • 扉はみ出し検知
  • 点検扉インターロック


清浄度維持について

圧力関係3≧1≧2を成立させることで清浄度を維持します。


仕様

 タイプ
:自立型
 タクト
:9sec/個(400個/hr)
 周回速度
:0〜10m/min
 清浄度
:0.3μm-Class100
 最大高さ
:30m
 昇降振動
:0.5G以下
 騒音
:68dB以下



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※音声が出ますのでご注意ください。




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